特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蚀性、毒性、燃烧性的气体。下面由盖斯帕克的小编为大家简单的介绍一下特种气体的存放及使用。
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜(Gas Cabinet)内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流流量计控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。
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